當前位置: 華文縱覽 > 科技

中芯CIM國產化計畫暫停?上揚軟體:未停擺,改為遠端開發!

2022-08-08科技

8月8日訊息,據新浪科技爆料稱,中芯國際於北京新建的12英寸晶圓廠(中芯京城)的「CIM國產化計畫」於近期被迫暫停,原因是該計畫技術承包方——上揚軟體(上海)有限公司(以下簡稱「上揚軟體」)無法完成中芯國際的半導體CIM軟體國產化需求,最終導致計畫暫停。對此,上揚軟體相關負責人予以了否認。

△中芯京城一期計畫

新浪科技的報道稱上揚軟體為配合中芯國際北京12英寸晶圓廠「CIM國產化計畫」在北京設立了研發中心,累計投入了超過100人的研發團隊,研發周期已近一年的時間,但在中芯國際IT部門經過多評估之後,判定其無法完成該計畫,最終該計畫被暫停。上揚軟體負責該計畫的研發團隊也已撤離或離職,甚至該計畫負責人上揚軟體的CTO許明光也已經送出了離職申請。

隨後,上揚軟體相關負責人對於該傳聞回應稱:「中芯國際北京計畫並未暫停,上揚團隊仍然在為其進行軟體開發,由於疫情反復,計畫由集中開發改為遠端開發,這樣的方式既能解決疫情對晶圓廠的影響,也能提高效率完成客戶的開發需求。」

此外,該該負責人還表示,目前計畫負責人及團隊穩定,相關計畫人員並未出現離職現象,且仍堅守崗位,為該計畫盡心盡責。上揚軟體是國內最早研發半導體MES的廠商,也是國內少數從事12寸半導體MES系統國產化的廠商。對於這樣的抹黑行為,上揚軟體的高層表示非常震驚。上揚軟體將保留追究法律責任的權利。

資料顯示,CIM(Computer Integrated Manu-facturing,電腦整合制造)是部署在半導體晶圓制造及先進封測工廠內部的生命級軟體系統,其作用急速用電腦軟體把整個制造過程整合在一起。CIM由制造系統由制造執行系統(MES)、統計過程控制系統(SPC)、裝置自動化方案(EAP)、配方管理系統(RMS)、良率管理系統(YMS)、即時排程排產系統(APS)等數十種軟體系統組成。

12英半導體產線的生產過程極為復雜,涉及到的裝置也是非常之多。以中芯國際天津T3積體電路生產線計畫為例對成熟制程12英寸產線為例,這條90nm制程的12英寸產線,每1萬片產能所需的主要裝置數量約為高溫、氧化、退火裝置22台,CVD 42台,塗膠/去膠裝置15台,光刻機8台,刻蝕裝置25台,離子註入裝置13台,物理氣相沈積裝置24台,研磨拋光裝置12台,清洗裝置17台,檢測裝置50台,測試裝置33台,其他裝置17台。如果產能達到4萬片,所需的裝置就將超過上千台。

此之多的不同型別的裝置都需要用一套軟體來管控 ,包括產品控制、工藝控制、工藝管理等。一千多步流程,上千台裝置,幾千種產品在一起「混跑」的情況下,還要證生產線高效的執行,這顯然是難度極高。

另外,在12英寸產線中,生產工序甚至可以達到上千步。因此每片晶圓在生產過程中會產生非常龐大的數據,其數據量級也隨著制程先行程度而快速增長。根據套用材料的數據,45nm晶圓廠每年的數據量在50TB左右,而28nm晶圓廠年均數據量可以達到80TB,14nm晶圓廠每年的數據量則為141TB。

揚軟體董事長、CEO呂淩誌也曾透露,一片12英寸的晶圓的制造過程能夠產生10G以上的數據,月產3萬片的產線每月數據量超過30萬G。

因此,CIM系統還需要具備對這些數據進行分析和處理的能力,才能實作更穩定、高效的生產管理。

可以說,晶圓制造工廠以及先進封測工廠,如果缺少CIM系統可能無法組織有效的大規模生產。CIM系統的優劣將影響半導體工廠的生產效率、良率控制、半導體企業的訂單能力和議價能力,進而影響半導體企業的市場競爭力。

正是因為半導體行業對CIM系統的穩定性和整合性要求特別高。所以一直以來,半導體行業推CIM系統國產化的難度都比較大。資料顯示,長期以來,CIM市場一直被IBM和套用材料兩家公司所占據,預計占有全球80%以上的市場份額。其中,全球12英寸晶圓廠的MES軟體幾乎被這兩大巨頭壟斷。

隨著中興事件、華為事件的爆發,以及美國對於中國半導體產業的持續打壓,也刺激了CIM系統國產化的加速。在這過程中,也湧現出了多家國產CIM系統廠商,包括上揚軟體、鎧鉑科技、芯享科技、賽美特、哥瑞立等。其中,上揚軟體則更是居於領先地位。

根據官網資料顯示,上揚軟體是國內為半導體、光伏和LED等高科技制造業提供整體解決方案的專業軟體公司,軟體解決方案包括制造執行系統(MES)、統計過程控制系統(SPC)、裝置自動化方案(EAP)、配方管理系統(RMS)、數據分析系統(EDA)、故障檢測分類(FDC)以及制造數據平台(MDM)等多方面的產品、服務與技術咨詢。

公司自1999年成立以來,在半導體、光伏和LED行業深耕細作,為眾多行業龍頭企業提供軟體解決方案。2000年,上揚軟體依靠最初的12名員工,順利完成了紹興華越微電子五寸晶圓廠MES的開發,同年在華越上線使用,2001年這套系統被用於上海新進半導體六寸線,至今仍被客戶使用,這也是中國本土自主研發的用於晶圓廠流程的第一套MES系統。

myCIM則是上揚軟體在半導體領域的主要產品,擁有產品工藝規劃(PRP)、花籃管理(CMS)、工藝選單管理(RCP)等模組。2019年,推出的myCIM 4.0填補了12寸半導體MES系統國產化的空白,使上揚軟體成為國內率先擁有自主智慧財產權的半導體全自動化CIM軟體方案的的軟體公司。

2021年,上揚軟體還先後完成數億元C1、C2輪融資,投資機構包括國家積體電路產業投資基金二期(國家大基金)、中芯聚源、浦東科投、浦東科創、哈伯資本以及深創投等。

呂淩誌博士曾表示:「人們都說光刻機很重要,但是它如果停機,只影響某一道工藝的生產,如果我們的軟體停線宕機,將影響整個生產線的營運,每小時可能損失上千萬,所以我們這個團隊壓力很大,我們一定要把軟體做得非常可靠。在中國的12吋生產線上,目前使用的還是國外的軟體,作為國內廠商我們自身必須實作突破。」

編輯:芯智訊-浪客劍 綜合自網路

行業交流、合作請加微信:icsmart01芯智訊官方交流群:221807116