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NS3600 高速3D鐳射共聚焦顯微鏡

2021-06-27 09:31:54科技

鐳射掃描共聚焦顯微鏡(CLSM)的原理最早是在1957年,由M.Minsky在哈佛大學研究期間提出的,在此成像系統中,採用點光源照明樣品,而攜帶樣品資訊的光被點探測器手機,最後利用橫向和軸向掃描技術獲得整個樣品的三維資訊。

目前市場上共聚焦顯微鏡主要被幾個大牌子所壟斷,與市場上動輒十幾萬美金的鐳射共聚焦顯微鏡相比,NS3600的設計初衷就是在保證世界一流水平共聚焦顯微鏡的同時兼顧經濟性。與傳統的探針型輪廓測量儀相比NS3600以638nm鐳射作為光源,同時採用連續斷層攝影的方式,獲得一張張連續的光學切片,並用特殊的演演算法這些光學切片重新構建成一張3維立體影象,最後用NSViewer資料分析軟體可以很輕鬆地獲得樣品地長,寬,高以及粗糙度資訊。由於NS3600採用的是無接觸測量方式,因此測量地同時不會損傷樣品的表面,也不需要準備專門的樣品,直接放在空氣中就可以測量非常簡單快捷。

NS3600的應用領域非常的廣泛:例如,半導體晶圓,FPD產品,MEMS器件,玻璃基板以及各種材料表面的粗糙度裂紋分析。

NS3600的雙Z軸掃描模式也被證明是測量反射率差異較大的樣品最有效的解決方案。你是否曾經遇到過這樣的苦惱。在測量樣品時,特別是一些薄膜塗層的橫截面時,由於塗層材料不同,有的塗層反射率比較高,有的比較低,因此獲得的影象有的地方白茫茫的一片,有的地方黑乎乎的一片。而NS3600則可以針對不同反射率的材料設定不同的PMTGain進行多次測量,然後將測量的結果合成一張影象,這樣就很巧妙地解決了不同塗層材料橫截面反射率差異的問題,可以獲得一張完美的影象。

同時NS3600的硬體系統也相當的出色,出色的光學元件可以保證高質量的影象,多物鏡轉檯,可支援不同倍率的物鏡。並且NS3600提供一個專為Stitch功能所設計的電動X,Ystage,當執行Stitch或者多點掃描(設定需要掃描的點)時,X,Ystage可以自動移動到對應的位置並執行測量。